Ingeniería de Materiales · 2018
Síntesis de películas delgadas de bisulfuro de tungsteno para aplicación como lubricante solido por la técnica de Magnetrón Sputtering
En este trabajo de investigación, se llevó a cabo la síntesis de películas delgadas de bisulfuro de tungsteno (WS2) con un espesor total de 1,2 μm, sobre acero AISI D2 tratado térmicamente, silicio orientado (111) y vidrio, utilizando la técnica de deposición física de vapor PVD Magnetrón Sputtering no reactivo, variando la presión de trabajo a la hora de la deposición de las películas, con el fin de aplicarlos como lubricantes sólidos en condiciones de frontera. Las superficies recubiertas se analizaron por medio de difracción de rayos X para determinar su estructura cristalina, dando como resultado una estructura hexagonal, la caracterización química utilizando espectroscopia Raman, done fue posible identificar los modo vibracionales E2g y A1g asociados al movimiento molecular del WS2, las propiedades superficiales por medio de perfilometría de contacto, y así determinar los esfuerzos intrínsecos del material así como su rugosidad, las propiedades mecánicas de las películas se estudiaron por medio de Nanoindentacion instrumentada, la adhesión interfacial se estudió usando rayado dinámico. Con el fin de observar el comportamiento tribológico de los materiales, se utilizó la técnica pin sobre disco (POD), con la cual se pudo determinar cuál recubrimiento presentaba las mejores condiciones para ser utilizado como lubricante sólido. El comportamiento a la corrosión se determinó por medio de pendientes de Tafel. EL desarrollo de estos recubrimientos, permitirá la formalización de protocolos para su deposición y caracterización. Palabras clave: WS2, recubrimientos, magnetrón sputtering, tribología, desgaste.
Texto completo 80 páginas con texto
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Contenido
- AGRADECIMIENTOSp. 4
- CONTENIDOp. 5
- LISTA DE FIGURASp. 7
- LISTA DE TABLASp. 9
- RESUMENp. 10
- INTRODUCCIONp. 11
- PLANTEAMIENTO DEL PROBLEMAp. 12
- JUSTIFICACIONp. 13
- OBJETIVOSp. 14
- Objetivo generalp. 14
- Objetivos específicosp. 14
- MARCO TEORICOp. 15
- Generalidades de Películas Delgadasp. 15
- Película Delgadap. 15
- Requerimientos exigidos en el sistema recubrimiento/substratop. 15
- Nucleación y crecimiento de capas delgadasp. 16
- Crecimiento de capas continuasp. 18
- Bisulfuro de Tungsteno WS2p. 20
- Acero AISI D2p. 20
- Método de deposiciónp. 22
- Proceso de Sputteringp. 22
- Tribologíap. 23
- Fricciónp. 23
- Desgastep. 11
- Lubricaciónp. 26
- Lubricantes Líquidosp. 26
- Lubricantes Semisólidosp. 26
- Lubricantes Solidosp. 27
- Caracterización estructural y químicap. 27
- Difracción de Rayos X (DRX)p. 27
- Ley de Braggp. 28
- Spectroscopy-EDS)p. 28
- Microscopia Electrónica de Barrido (SEM)p. 29
- Caracterización Superficialp. 29
- Perfilometríap. 29
- Parámetros de rugosidadp. 30
- Esfuerzos intrínsecosp. 31
- Caracterización Mecánicap. 32
- Nanoindentacionp. 32
- Rayadop. 34
- Corrosión en películas Delgadasp. 35
- ESTADO DEL ARTEp. 37
- Metodología experimentalp. 43
- Preparación de substratosp. 43
- Sistema de Deposiciónp. 44
- Metodología de la Deposiciónp. 45
- Perfilometríap. 29
- Difracción de Rayos Xp. 47
- Espectrometría Ramanp. 48
- Microscopia Electrónica de Barrido SEM-EDSp. 48
- Nanoindentacion y Rayado Dinámicop. 49
- Tribologíap. 23
- Corrosiónp. 37
- RESULTADOS Y ANALISIS DE RESULTADOSp. 52
- Caracterización Estructural y Químicap. 27
- Difracción de Rayos Xp. 47
- Espectroscopia Ramanp. 14
- Caracterización Superficialp. 29
- Espesores, rugosidad y esfuerzos residualesp. 55
- Rugosidadp. 47
- Esfuerzos Residualesp. 57
- Caracterización Mecánica: Nanoindentacionp. 58
- Dureza (H), Modulo de Elasticidad (E)p. 58
- Rayado Dinámicop. 60
- Caracterización Tribológicap. 63
- Análisis Coeficientes de Fricción (COF)p. 63
- Análisis del Coeficiente de Desgastep. 67
- Caracterización Electroquímicap. 73
- Conclusionesp. 75
- Anexosp. 77
- Bibliografíap. 78
- X b)………………………………………………………………………………………p. 27
- deposición………………………………………………………………………………p. 40
- Figura 23. Perfilometro KLA Tencor D-120…………………………………………p. 46
- sintetizados a diferentes presiones de deposición…………………………………p. 53
- sintetizados a diferentes presiones de deposición…………………………………p. 56
- sintetizados a diferentes presiones de deposición…………………………………p. 57
- sintetizados a diferentes presiones de deposición…………………………………p. 58
- WS2(3mTorr) a 50x y 200x……………………………………………………………p. 63
- Tabla 4. Adhesión y dureza de los recubriremos con diferentes arquitecturas…p. 41
- Tabla 12. Condiciones para ensayo de Tribología…………………………………p. 50
- Tabla 13. Condiciones para ensayo de Corrosión…………………………………p. 51
- presiones de deposición………………………………………………………………p. 54
- sintetizados a diferentes presiones de deposición…………………………………p. 72